考察

シリコンキャパシター向けウエハ検査装置の開発完了、販売開始へ｜シリコンキャパシター向けウエハ検査装置の開発完了及び販売開始

67212026年10月13日

考察

資料基準 2026年10月13日 15:19 · 更新 2026年10月13日 15:19 · 第1版

影響

小

販売開始による業績影響は軽微

見落としやすい点

本文ではのデバイス並列検査、製品仕様表では最大検査チャンネルをとしており、仕様は搭載する測定リソースやシステム構成で異なる場合がある。

新装置はの並列検査に対応する。販売開始による当期連結業績への影響は、会社は軽微と見込む。販売開始は予定で、既に引き合いのある台湾メーカーなどへ営業活動を始めるとしているが、契約金額や売上見込みは本開示に記載されておらず、販売の進捗が業績への寄与を測る手掛かりとなる。

本業
半導体検査装置事業で検査対象領域を広げ、シリコンキャパシター向けの製品カテゴリーとして育成する方針。

開示（1件）

1.シリコンキャパシター向けウエハ検査装置の開発完了及び販売開始のお知らせ

その他2026年10月13日 15:10開示本文を読む →

  • シリコンキャパシター向けウエハ検査装置『WTS-513SC』の開発完了及び販売開始のお知らせ：当社は、ウエハ上に形成されたシリコンキャパシター（Silicon Capacitor）を対象とする新型ウエハ検査装置WTS-513SCの開発を完了し、2026年12月より販売を開始する予定となりましたので、お知らせいたします。
  • 本装置は、シリコンウエハ上に形成されたキャパシターの電気特性をウエハ段階で検査する装置であり、最大47個のデバイスを並列で検査することが可能です。
  • 当社は、本装置を新たな製品ラインアップとして展開し、AI・HPC（High Performance Computing）、HBM（ハイバンド・メモリー）をはじめとするAIチップで多用される高性能半導体及び先端パッケージ分野の拡大に伴って今後需要の伸長が期待される、高性能・小型キャパシターの量産検査市場への参入を進めてまいります。。
  • 1．開発の背景：当社では、このような市場環境を踏まえ、これまで半導体検査装置事業で培ってきた高精度アナログ計測、微小信号測定、多チャンネル並列測定及びウエハ検査技術を応用し、シリコンキャパシターの量産工程に対応する新たな検査装置の開発を進めてまいりました
  • 2．新型装置の概要：本装置では、最大47並列の検査に対応することで、シングルサイト又は少数サイトによる検査と比較して検査効率を高め、シリコンキャパシターの量産工程における検査時間の短縮及びCost of Testの低減への貢献を目指します。
  • また、ウエハプローバー等と組み合わせることにより、ウエハ上の各デバイスを順次測定し、その測定結果に基づくPass/Fail判定及びウエハマップへの反映など、量産工程に必要となる一連の検査への対応を想定しています。
  • 3．本装置の主な特長：（2）ウエハレベルでの電気特性検査後工程へ移行する前のウエハ段階で電気特性を検査することにより、不良デバイスを早期に判別し、後工程を含めた製造効率の向上に寄与します。
  • （4）量産ラインへの対応ウエハプローバーとの連携を想定したシステム構成により、研究開発用途にとどまらず、半導体・電子部品メーカーの量産工程への導入をターゲットとしています。
  • 4．新たな成長市場への展開：今回のシリコンキャパシター検査装置は、その取り組みの一環となるものであり、今後は顧客ニーズを踏まえながら、より多くのデバイスへの対応、測定機能の拡張及び検査効率のさらなる向上を進め、当社半導体検査装置事業における新たな製品カテゴリーとして育成してまいります。
  • 5．販売開始時期：販売先対象は、既にお引き合いを頂いている台湾メーカー様そして国内外の半導体メーカー、電子部品メーカー及び関連企業に向けて営業活動を開始する予定です。
  • 6．今後の見通し：本装置の販売開始による2026年12月期の連結業績への影響については、現時点では軽微であると見込んでおります。
  • 製品概要：WTS-513SC は、ウエハ上に形成されたシリコンキャパシターの電気特性を検査するために開発した新型ウエハ検査装置です。
  • 最大48チャンネルの並列検査に対応し、高精度測定と量産検査の高スループット化の両立を実現します。
  • また、各チャンネルに接続可能な測定リソースと共有測定リソースを組み合わせることで、シリコンキャパシターの各種電気特性を効率的に測定することができます。
  • ■製品コンセプト：※なお、記載の仕様は搭載する測定リソース及びシステム構成により異なる場合があります。

主な特徴

項目WTS-513SC
最大検査チャンネル
高電圧測定
共有 SMU

表の値は開示本文から取りました。

開示本文をもとに AI が作成した記事です。数字は開示本文と決算データから入れています。数字に押すと出どころが出ます。

出典

  1. シリコンキャパシター向けウエハ検査装置の開発完了及び販売開始のお知らせ2026-10-13